仕様
| 型式 |
VGV-5MA |
|---|---|
| 入力電源 | 三相200V ±10% 50/60Hz |
| 出力 | DC 350A(使用率40%) |
| 溶解方式 | アルゴンアーク |
| 溶解雰囲気 | アルゴン雰囲気 |
| ルツボ | 銅ハース Φ35×10T(ボタン型3基) |
| 傾注方式 | 回転ハンドル式手動/自動傾注 |
| 到達真空度 | 5×10-5Torr |
| 排気時間 | 5×10-5Torrまで約30分(ブランク時) |
| 入力容量 | 16kW(定格出力30A時) |
| 真空計 |
ブルトン管真空計 1基 ペニング真空計 1基 |
| 真空ポンプ |
100L メカニカルブースターポンプ 200L ディフュージョンポンプ |
| 真空バルブ |
手動バルブ 65A/ニードル式 三方バルブ 65A/ニードル式 |
| サイズ | 1200W×700D×1500H(mm) |
| 重量 | 約450kg |
| その他搭載 | チャンバー内照明 |
| オプション | 反転用ピッカー(2基) |
